林语靠在椅子上，双手抱肩，继续说道

“我刚刚所说的是第一组的科研方向，现在我来说说第二组的科研方向。”

在座的众人再次被震惊，因为老板刚刚提出的方案都是闻所未闻的，而此刻老板竟然还要提出新的方案，这多少让他们有些难以置信，但同时也对这个新老板佩服的五体投地。

“第二种叫做固态dUV(深紫外)激光。”

刘成林和王乾伟两人的心砰砰的乱跳着，因为现在的主流设计方向是干式光刻机，老板刚刚提出了给沉浸式光刻机理念，而现在又提出一种更加没有听说过的固态dUV(深紫外)激光，这些概念都是谁想出来的呢？而老板又是怎么获得的。

以他们对市场现状的了解，目前这种概念还从来没有出现过。

只听林语扫视了一眼众人，说道

“别光顾着惊讶，记下来。”

刘成林和王乾伟低下了头，准备好了记录。

“固态dUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光。”

刘成林就像是学生一样，这次他没有直接发问，而是举起了手。

“刘主任，你说。”林语看到后直接说道。

“老板，什么是相干光？”刘成林询问道。

“具体的我也不是很清楚，但是我可以给你们一个大概，你们按照这种方式去做科研，我相信你们”

“老板您说。”

“可以采用氟化氙(ArF)准分子激光技术，通过氩、氟气体的混合物在高压电场下生成不稳定分子，释放出193nm波长的光子，然后以高能量的短脉冲形式发射，频率在8k-9khz，这是一种方式。”

“老板，什么意思？还有另外一种方式吗？”刘成林已经被惊到了。

林语点了点头，笑着说道

“还有一种，是完全基于固态设计，由制造的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。一路采用四次谐波转换，将1030nm激光转换为258nm。另一路径采用光学参数放大，将1030nm激光转换为1553nm。之后，转换后的两路激光通过串级硼酸锂晶体混合，生成193nm波长的激光光束。”

林语喝了一口水，然后继续说道

“这种光刻机可以大幅降低光刻系统的复杂度、体积，减少对于稀有气体的依赖，并大大降低能耗。当然了，不是说这种研究方向就一定是最佳的选择，科研的路有很多种，我们只有做了尝试，才知道哪条路是正确的。所以两组全都要拿出十二分精神，努力的做科研，争取研发成功。”

刘成林和和王乾伟皱着眉记录着，他们在脑海中反复想着老板说的这两种方向，虽然没有实践，但是他们觉得全都是可行的。尤其老板说的这么详细，虽然只是大概的研究方向，但是连具体的数据都有。他们不清楚，老板是怎么知道的，但是他们知道，在老板的背后，肯定有一个很专业的团队，不然是说不出这么详细的。

此刻他们激动的竟然有些颤抖，因为他们做了二十多年的研究，走了不知多少弯路，尤其现在想要跟随光刻机巨头的步伐做科研，而此刻他们找到了新的方向，能够弯道超车的机会，而且不是一条。

他们知道，扬眉吐气的日子不远了。

“老板放心，我们两组全都会努力的。”

“嗯。”林语点了点头，“我相信你们，在这里我再说一下，如果在做研究的时候发现新的方案，也是可以另外成立一个小组，进行研究的，当然了，这些小组也属于你们两组的分支机构，归属于你们管理，只要提出方案，探讨后觉得合理，就可以研究，我不怕你们多做尝试，哪怕失败了，也能通过走错的路学到新的知识，也能验证一些正